光学薄膜是诈骗薄膜对光的效用而事业的一种效用薄膜，光学薄膜正在变更光强方面能够竣工分光透射、分光反射、分光接收以及光的减反、增反、分束、高通、低通、窄带滤波等效用。光学薄膜的品种有良众，这些薄膜授予光学元件各式行使本能，正在竣工光学仪器的效用和影响光学仪器的质地方面起着紧张的或者确定性的效用。

　　古代的光学薄膜是摩登光学仪器和各式光学器件的紧张构成部门，通过正在各式光学质料的外面镀制一层或众层薄膜，诈骗光的干预效应来变更透射光或反射光的光强、偏振形态和相位蜕化。薄膜能够被镀制正在光学玻璃、塑料、光纤、晶体等各式质料外面上。它的厚度可从几个nm到几十、上百个μm。光学薄膜能够获得很好的巩固性、光学稳固性，本钱又比拟低，险些不扩展质料的体积和重量，是以是变更体系光学参数的首选本事，乃至能够说没有光学薄膜就没有摩登的光学仪器和各式光学器件。正在两百众年的兴盛经过中，光学薄膜造成了一套完善的光学外面—薄膜光学。光学薄膜已普通运用于各式光学器件(如激光谐振腔、干预滤波片、光学镜一级)，不只如许它正在光电界限中的紧张效用亦逐步为人们所了解。

　　把一束光分为两部门的器件称为分光镜。分光镜的事业部门普通是一个镀过膜的平面，它正在必定的波长规模内具有特定的反射率和透射率。日常这个平面是倾斜的，是以入射光和反射光便分脱节来。分光镜的预订反射率和透射率值随其用处差别而相异。

　　看待差别的分光镜往往有差别的透射率和反射率比T/R，即分光比。最常用的是中性分光镜，T/R=50/50，它把一束光分成光谱因素类似的两束光。由于它正在某波长区域内对各波长具有类似的透射率和反射率比，所以反射光和透射光不带有颜色，呈中性。常用的中性分光镜有两种机闭：一种是正在透后的平板基片上镀上分光膜，另一种是把膜层镀正在两个直角棱镜上，再膜面临膜面地胶合创设方体。常用的有金属分光镜和介质分光镜两类。金属膜分光镜分光的光谱宽度较宽，坏处是接收耗费较大，分光功用较低，介质分光镜的特性是分光功用高，偏振效应彰着，分光个性色散彰着。介质膜分光镜与金属膜分光镜比拟，由于介质膜的接收小到能够漠视的水平，因而分光功用高，这是介质分光镜的所长，可是介质膜的个性对波长较敏锐，给中性分光带来困穷。同时，普通介质膜分光镜的偏振效应较大，这也是它的不敷之处。

　　假定辉煌笔直入射正在外面上，这时外面的反射光强度与入射光的强度比值(反射率)只确定于相邻介质的折射率的比值。

　　折射率为1.52的冕牌玻璃每个外面的反射约为4.2%把握．折射率较高的火石玻璃则外面反射更为明显。这种外面反射形成了两个紧张的后果：光能量耗费使象的亮度低浸；外面反射光源委众次反射或漫射，有一部门成为杂散光，最终也来到象平面使象的衬度低浸图象质地，万分是电视、影戏影相镜一级繁复体系都包括了良众个与氛围相邻的外面，如不镀上增透膜其本能就会大大低浸。

　　运用于可睹光谱区的光学仪器分外众，就其产量来说攻陷了减反射膜的绝大部门，险些正在一共的光学器件上都要举办减反措置。

　　请求某一波长规模的光束高透射，而偏离这一波长的光束顿然蜕化为高反射(或称禁止)的干预截止滤光片有着普通的运用。咱们把禁止短波区、透射长波区的滤光片称为长波通滤光片。相反，禁止长波区、透射短波区的截止滤光片就称为短波通滤光片。

　　大大批处境下，是祈望截止短于某一特定波长，或者善于该波长的一共辉煌。日常的举措是使干预滤光片同接收滤光片相组合。它既能够用作截止长波的短波通滤光片，也能够用作截止短波的长波通滤光片。只消变更监控膜层厚度的波长，截止限的场所能够大意转移。

　　反射膜是用于把入射光能量大部门或险些十足反射的光学元件。正在有些光学体系中，请求光学元件具有较高的反射方法，比如，激光器的反射镜请求对某种频率的单色光的反射率正在90％以上。为了加强反射能量，常正在玻璃外面镀一层高反射率的透后薄膜，诈骗其上下外面反射光的光程差满意干预相长的条目，使反射光加强。

　　金属膜有很高的反射率，接收率也较高，而介质膜的不单反射率能够较高，另有较小的接收率。

　　铝是独一从紫外到红外(0.2～30μm)具有很高反射率的质料。大约正在波长0.85μm处反射率呈现一极小值，其值为86%。铝膜对基板的附效力比拟强、板滞强度和化学稳固性也比拟好，因而普通用作反射膜。新浸积的铝膜表露于常温大气后，外面顷刻造成一层非晶的高透后的Al2O3膜，短年华内氧化物急迅成长到15～20.，然后迂缓成长，一个月后到达50把握。对迂缓蒸发的铝膜，氧化物的厚度能够到达90.以上。氧化物的存正在使铝膜的反射率低浸，万分是波长小于200nm的区域，为此要用MgF2膜作袒护层。正在可睹光区，日常用SiO行动初始质料，蒸发获得硅的氧化物薄膜行动Al膜的袒护膜。最佳的制备铝膜的条目：高纯铝(99.99%)；高线nm/s)；基板温度低于50℃。

　　正在可睹光及红外波段内，银膜的反射率是一共已知质料中最高的。正在可睹光区和红外区，反射率分歧到达95%和99%把握。可是，银膜的附效力差，板滞强度和化学稳固性差，因而要紧用于短期行使的零件。银膜正在紫外区的反射率很低，正在波长400nm起头低浸，到320nm左近降到4%把握。当银膜表露于氛围中时反射率会逐步低浸，要紧原由是外面造成的氧化银(AgO、Ag2O3)和硫化银，是以要正在银膜上镀袒护膜。最佳的制备工艺与铝的一样，即高真空、急迅蒸发、低的基板温度

　　低浸薄膜反射率的一个紧张身分是散射。形成散射损耗的原由是众种众样的，薄膜的成核和成长机理惹起膜层微观机闭的不屈均，从而会发作散射，借助于电子显微镜观看众层膜断面的微观机闭，其外露分外彰着的柱状，膜层内部充满空位，而面变得高低不屈。别的，基片外面的粗拙度及其缺陷，另有蒸起源喷溅的粒子、膜层中的微尘、裂纹和针孔等身分互相交叉组成繁复的散射模子。总的来说咱们能够把散射归结为二类，即体积散射和外面散射。

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