磁控板位于靶背板上背向靶材的另一侧

更新时间:2025-11-24 10:21 类型:新闻资讯 来源:网络整理

  

磁控板位于靶背板上背向靶材的另一侧

  金融界2025年7月24日信息,邦度学问产权局讯息显示,深圳市矩阵众元科技有限公司赢得一项名为“一种靶材背板绝缘构造及真空镀膜装备”的专利,授权通告号CN223134561U,申请日期为2024年09月。

  专利摘要显示,本适用新型公然了一种靶材背板绝缘构造及真空镀膜装备,涉及真空薄膜重积时间规模,蕴涵箱体,蕴涵第一装配座,箱体具有内腔,内腔中设有靶材、靶背板和磁控板,靶背板的两头绝缘连合于第一装配座,靶材固定于靶背板的一侧,磁控板位于靶背板上背向靶材的另一侧,靶背板上面向磁控板的一侧设有绝缘层,绝缘层与磁控板之间具有间隙,通过创立绝缘层不妨避免磁控板与靶背板之间发生高压击穿,以降低平和性和工艺的安谧性。

  天眼查原料显示,深圳市矩阵众元科技有限公司,建立于2016年,位于深圳市,是一家以从事专业时间供职业为主的企业。企业注册血本1354.502万黎民币。通过天眼查大数据明白,深圳市矩阵众元科技有限公司共对外投资了1家企业,介入招投标项目86次,专利讯息170条,其它企业还具有行政许可13个。

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